NMC 612G 12-дюймовый травильный станок по металлу

NMC 612G — это машина для сухого травления с индуктивно связанной плазмой высокой плотности, в основном используемая в области интегральных схем, силовых полупроводников и кремниевых микродисплеев. NMC 612G – многокамерное кластерное оборудование (Cluster Tool). Это полностью автоматизированная система травления, способная осуществлять последовательную или параллельную обработку. Это оборудование включает в себя технологический модуль и модуль передачи, которые могут непрерывно и автоматически извлекать пластины из 12-дюймовой коробки для передачи кремниевых пластин (FOUP) и завершать заданный процесс в назначенной технологической камере.

Технические характеристики

• Может использоваться для травления различных материалов, таких как алюминий, кремний, оксид молибдена, оксид индия и олова и т.д.
• Высокопроизводительный электростатический патрон, может использоваться для стабильной адсорбции кремниевых пластин и листов стекла.
• Оборудование обеспечивает различные методы регулировки однородности.
• Индивидуальная конфигурация программного обеспечения.

Размер пластины: 12 дюймов.

Применимые материалы: алюминий, кремний, оксид, молибден, индий, оксид олова.

Применимый процесс: травление поликремния, травление диэлектриков, Al/ Mo/ITO и других металлов.

Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник, микродисплей на основе кремния.