Шаговая литографическая машина LSLM-500

Шаговая литографическая машина LSLM-500 — это устройство, используемое для производства интегральных схем (IC), способное формировать миллионы микроскопических элементов схемы на поверхности крошечных кремниевых пластин и являющееся важной частью сложных процессов.

Технические характеристики

• Цель: Степперная литография позволяет перенести рисунок маски на поверхность подложки для экспонирования в уменьшенных пропорциях.
• Основные характеристики: рисунок маски может быть уменьшен в 5 раз пропорционально экспозиции; ширина линии: до 500 нм; возможность совместного использования нескольких типов позитивных и негативных фоторезистов;
• Применимый размер пластины: размер образца не может превышать 6 дюймов.
• Распыляемые материалы: металлы Al, Cu, Gr, Co, Fe, Ni, Pt, Ag, Ti, Ta; сплавы NiFe, CoFe, CoFeB, NiMn, FeMn, TbFeCo; оксиды MgO и др.
• Размер: 170 см*130 см*180 см

Характеристики продукта:

• высокая точность;
• настольный тип, небольшой размер, встроенный компьютер;
• настраиваемое аппаратное и программное обеспечение для удовлетворения потребностей отрасли;
• гибкость и подходит для различных материалов и форм.

Области применения:

• малые и средние интегральные схемы,
• полупроводниковые компоненты,
• разработка и производство приборов на поверхностных акустических волнах.

Технические параметры