Подходит для работы с вафельными изделиями диаметром 4/6, 8/12 дюйма.
Технические характеристики
Методы загрузки и разгрузки: поддерживает FOUP, открытую кассету.
Основные функции: включает автоматическое сопоставление и выравнивание вырезов.
Дополнительные функции: OCR, считыватель штрих-кодов, SCES/GEM.
Технические параметры
|
Размеры |
Ш1440 х Г1260 х В2250 |
|
Вафля ввода/вывода |
FOUP 00 мм 25 шт. (SEMI E47.1), FOSB 25 шт. (SEMI M31) или FOUP 300 мм с 8-футовой открытой кассетой/стандарт SEMI: E47.1, E62 |
|
Размер пластины |
200-300 мм, толщина 0,4-1,0 мм |
|
Пропускная способность |
200 шт/ч |
|
Уровень |
Класс 2 по ISO (ФФУ) |
|
Количество портов |
2 порта |
|
Масса |
500 кг |
|
Утилиты |
Мощность: 220 В переменного тока, 50 Гц / Сухой воздух: 0,5 МПа ± 10% / Вакуум: >-53 кПа |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
EFEM |
Цена по запросу |
JoomShopping Download & Support