Технические характеристики
Оборудование в основном используется для процессов гомогенизации, проявки и предварительного выпекания светодиодов, МЭМС, ИС и других стандартных отраслевых пластин.
Оборудование в основном используется для разработки оборудования для нанесения покрытий на пластины и процесса предварительного выпечки в светодиодах, МЭМС, ИС и т. Д.
Основные характеристики
Он имеет звездообразную компоновку, компактную структуру и высокую эффективность.
Принять звездообразное расположение, компактную структуру и высокую эффективность.

Станция вверх / вниз
Алюминиевая стандартная вафельная кассета, не деформируется, легко переносится.
Алюминиевая стандартная кассета, не деформируется, легко поворачивается.

Робот с двумя руками
Выбран импортный многошарнирный манипулятор с двумя рычагами, который не только обладает высокой жесткостью и гибкостью, но и обладает высокой скоростью передачи и высокой точностью позиционирования.
Импортный многошарнирный двухрычажный бобот не только обладает высокой жесткостью и гибкостью, но также обладает высокой скоростью передачи и высокой точностью позиционирования.

Установка для нанесения покрытий
Гомогенизирующая полость изготовлена из импортного полипропилена, а двигатель шпинделя изготовлен из импортного бесщеточного серводвигателя переменного тока с полым валом, что обеспечивает высокую точность управления скоростью вращения и ускорением, а также хорошую повторяемость и стабильность.
Чашка изготовлена из импортного полипропиленового материала. В двигателе шпинделя используется импортированный по индивидуальному заказу полый бесщеточный серводвигатель переменного тока, обеспечивающий высокую точность, повторяемость и стабильность скорости вращения и контроля ускорения.

Блок разработчика
Специальная конструкция проявочной камеры может реализовывать функции сбора отработанной жидкости и управления воздушным потоком, так что условия процесса разработки могут быть оптимальными.
Чашка проявителя может реализовывать функции сбора отработанной жидкости, управления потоком воздуха и т. Д., Чтобы оптимизировать условия процесса разработки.

Блок CP/HP
Блок холодной/горячей пластины представляет собой процесс предварительного выпечки и охлаждения пластины, при этом пластина находится в непосредственном контакте с корпусом диска со стабильной температурой и высокой точностью.
Блок CP/HP предназначен для предварительной выпечки и охлаждения. Пластина и пластина не находятся в прямом контакте, стабильная температура и высокая точность.
Технические параметры
|
Размер пластины |
4″、6″ |
Размер пластины |
4″、 6″ |
|
манипулятор |
1 комплект |
Робот |
1 комплект |
|
Гомогенизатор |
2 комплекта |
Установка для нанесения покрытий |
2 комплекта |
|
Отдел разработки |
2 комплекта |
Блок разработчика |
2 комплекта |
|
Скорость вращения шпинделя |
0~6000 об/мин |
Скорость вращения шпинделя |
0~6000 об/мин |
|
Минимальная величина регулировки |
1 об/мин |
Мин. регулировка |
1 об/мин |
|
Точность частоты вращения |
±1 об/мин (50 ~ 5000 об/мин) |
Точность скорости |
±1 об/мин (50 ~ 5000 об/мин) |
|
Ускорение шпинделя |
100~20000 об/мин/сек |
Ускорение шпинделя |
100~20000 об/мин/сек |
|
Количество клея |
2-полосный |
Количество RP |
2 комплекта |
|
Функция обратной промывки |
Необязательный |
BSR |
необязательный |
|
Функция бокового снятия |
Необязательный |
ЭБР |
необязательный |
|
Поставка фоторезиста |
Прецизионные насосы для клея |
PR Поставка |
прецизионный насос PR |
|
Поставка фоторезиста |
1~10мл |
PR Поставка |
1~10мл |
|
Точность подачи фоторезиста |
±0.1мл |
Точность подачи PR |
±0.1мл |
|
Вязкость фоторезиста |
≤1000Cp |
PR Вязкость |
≤1000cp |
|
Фоторезистная фильтрация |
Необязательный |
PR-фильтрация |
необязательный |
|
Количество разработчиков |
2-полосный |
Количество разработчиков |
2 комплекта |
|
Форма сопла |
Столбчатые или Н-образные |
Тип сопла |
колонна или тип H |
|
Способ подачи жидкости |
Напорный бак из нержавеющей стали |
Режим питания |
Напорный бак из нержавеющей стали |
|
Функция обратной промывки |
Да (чистая вода) |
BSR |
Да (DIW) |
|
Количество конфорок |
≤ 9 комплектов |
Количество HP |
≤9 комплектов |
|
Диапазон температур |
Комнатная температура ~180°C |
Диапазон температур |
комнатная температура ~180°C |
|
Минимальная величина регулировки |
0,1°С |
Минимальная регулировка |
0,1°С |
|
Способ нагрева |
Нагревание слюдяных нагревательных листов |
Метод нагрева |
Нагрев слюды |
|
Однородность температуры |
±1 °C@50 °C ~ 120 °C、±2 °C@120,1 °C ~ 180 °C |
Однородность температуры |
±1 °C@50 °C ~ 120 °C, ±2 °C@120,1 °C ~ 180 °C |
|
Модуль захвата |
Необязательный |
Режим AD |
необязательный |
|
Количество холодных пластин |
≤ 3 комплекта |
Количество CP |
≤3 комплекта |
|
Способ охлаждения |
Циркуляционное охлаждение водяного охлаждения установок |
Режим охлаждения |
Заводская охлаждающая вода |
|
Диапазон температур воды |
18 °C ~ 30 °C |
Диапазон температур воды |
18 °C ~ 30 °C |
|
Размеры |
Д1950мм×Ш1700мм×В1900мм |
Контурный размер |
Д1750мм×Ш1600мм ×В1900мм |
|
вес |
1800 кг |
Вес |
1800 кг |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Проявитель автоматической гомогенизации DYX-640S |
По запросу |
JoomShopping Download & Support