Технические характеристики
Экспозиционная машина серии BG-406 в основном используется для юстировки и экспонирования в процессе производства малых и средних интегральных схем, диодов, транзисторов, устройств GPP, светодиодов, силовых электронных устройств, МЭМС и других полупроводниковых устройств. Эта серия экспонаторов включает в себя 4-дюймовые и 6-дюймовые одно- и двухсторонние экспонирующие аппараты, которые могут выполнять одностороннюю/двустороннюю юстировку и одностороннюю экспозицию.
Серия выравнивателей масок BG-406 может быть использована в процессе выравнивания и экспонирования малых или средних интегральных схем, диодов, динатронов, GPP, светодиодов, силовых электронных устройств и т. Д. Серия маск-элайнеров включает в себя 4",6", одностороннее/двустороннее выравнивание и одностороннее экспонирование.
Технические параметры
|
Параметры |
Технические индикаторы |
Параметры |
Технический индекс |
||
|
Применимо к субстратам самого большого размера |
Макс. 6 дюймов (φ150 мм) |
Применимый максимальный размер подложки |
Макс. 6 дюймов (φ150 мм) |
||
|
Применяется максимальный размер маски |
Макс 7 дюймов (175×175 мм) |
Применимый максимальный размер прицельной сетки |
Макс 7 дюймов (175×175 мм) |
||
|
Точность выравнивания |
Верхний микроскоп |
±1 мкм |
Точность выравнивания |
Верхний микроскоп |
±1 мкм |
|
Донный микроскоп |
±3 мкм |
Донный микроскоп |
±3 мкм |
||
|
Разрешение экспозиции |
1,5 мкм (толщина клея≤ позитивный клей 1 мкм, вакуумный контакт) |
Разрешение экспозиции |
1,5 мкм (толщина клея ≤ позитивный клей 1 мкм, вакуумный контакт) |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Экспонирующий аппарат серии BG-406 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support