Монолитное оборудование для мокрого технологического процесса

• Монолитная машина для травления
• Монолитная очистительная машина
• Однопластинчатый травитель
• Базовая технология для очистки одной пластины
• Технология Nano-Spray при комнатной температуре и при различных диапазонах давления воздуха и гидравлического давления.
• Размер частиц тумана в диапазоне 6,8-7,8 мкм (SMD).
• Нано-спрей не имеет одинаковой высоты от пластины при определенных условиях
• Размер силы на поверхности пластины не одинаков, что в конечном итоге влияет на эффект очистки пластины на разных скоростях, и когда Nano-Spray колеблется, чтобы очистить всю пластину, это приводит к неравномерной очистке.
• То же самое приведет к неравномерной уборке
• Линейная скорость не одинакова на каждом диаметре, линейная скорость колебаний Nano-Spray не одинакова.
• Подтвердите силу удара по поверхности пластины, и в то же время сформируйте замкнутый контур динамического контроля в реальном времени для каждой точки скорости пластины и скорости Nano-Spray для достижения равномерности очистки всех точек пластины.

Монолитная очистительная машина, одиночная травильная машина

• Полностью автоматизированное монолитное технологическое оборудование.
• Индивидуальные услуги, возможно изготовление 1/2/3/4/8-камерного технологического оборудования
• Монолитное очистное оборудование 90 нм прошло технологическую валидацию
• Углубленное изучение технологии очистки для техпроцессов с длиной волны от 65 до 28 нм
• Исследования в области очистки и травления пластин толщиной 50-100 нм
• Разработка вакуумных присосок Bernoulli для очистки и травления обратной стороны
• Он имеет уникальную интеллектуальную технологию очистки с динамическим микроконтролем и технологию мегазвуковой очистки
• Монолитное оборудование на 8/12 пластин в качестве основного, малый размер в качестве вспомогательного
• Высокая стабильность, хорошая надежность и выдающиеся показатели согласованности
• Высокое качество продукции, конкурентоспособная цена и стоимость использования

1. Когда окружность продукта вращается с высокой скоростью, на задней части круга продукта есть слой жидкой пленки через жидкую пленку, и в то же время на лицевой стороне есть жидкость, образующая жидкую пленку на круге продукта
2. Жидкость на лицевой стороне оказывает определенное влияние на кристаллический рисунок, и в то же время мегазвуковая волна будет образовывать воздушные карманы на кристаллическом рисунке, и пластина будет очищаться при условии двойной силы.
3. В одном случае частота мегазвука и мощность сзади определены, и есть датчик, который принимает мощность сзади, поэтому расстояние до переднего сопла изменяется в режиме реального времени;
4. В одном случае расстояние переднего распыления определено, и есть датчик, который получает мегазвуковую мощность, затем частота и мощность мегазвуковой волны сзади контролируются в режиме реального времени.
5. Установить эффективность очистки силы взаимодействия между действием мегазвуковой кавитации и силой удара на поверхность пластины, найти точку равновесия и установить зависимость управления;
6. Мегазвуковая головка сапфира может применяться во всех видах суровых сред, а мегазвуковая волна косвенно участвует в процессе очистки, чтобы избежать чрезмерного повреждения.

Основные преимущества:

• Индивидуальные услуги для конкретных потребностей клиентов
• Исследование новых процессов в сотрудничестве с клиентами
• Интеллектуальная технология очистки с динамическим микроконтролем
• Технология мегазвуковой очистки
• Стабильный и точный контроль температуры, концентрации и скорости потока химического раствора
• Обеспечение многокамерного управления потоком для различных процессов
• Разработка оборудования для различных размеров пластин