Автоматическая машина для утонения WG-1250

Недавно разработанная автоматическая разрежающая машина позволяет утонять 8-дюймовые слитки и пластины из SiC

Технические характеристики

● Обработка слитков карбида кремния (максимальная толщина 3000 мм), слитков карбида кремния, поддающихся гетерогенной обработке, с рамкой (максимальная толщина 50000мкм), пластин специальной формы с рамкой и нестандартных пластин SiC толщиной 4/6/8 дюйма; диаметр шлифовального круга φ300 мм, максимальная скорость утончения составляет 0,9 мкм /с, время однолистового шлифования <5 минут;
● Двухшпиндельный трехпозиционный автоматический утончающий станок, онлайн-метод измерения (диапазон измерения 0-1800 мкм) / автономный метод измерения (диапазон измерения 0-50000 мкм) опционально; ручная загрузка и операции по разгрузке и ручной очистке опорной платформы с помощью oilstone.