Источник атомарного водорода

Технические характеристики

При высоких температурах молекулы водорода распадаются на атомарный водород. Нагрев с помощью электронного пучка — один из наиболее эффективных методов. При относительно низкой мощности металлический капилляр можно нагреть до температуры выше 2500°C.

Обычно в нагретый металлический капилляр подаётся водород, при этом молекулы газа расщепляются на атомы, формируя пучок атомарного водорода. Этот метод широко применяется для выращивания материалов и обработки поверхности подложек.

Благодаря окружающему водяному охлаждению и небольшому диаметру отверстия, тепловое воздействие металлического капилляра на камеру можно не учитывать.

Особенности:

• Система нагрева: нагрев путём электронной бомбардировки;
• Совместимость: совместимость со сверхвысоким вакуумом, предельное давление 10⁻¹¹ мбар;
• Охлаждение: встроенный модуль водяного охлаждения;
• Заслонка: опционально доступна Ta-заслонка (с ручным или пневматическим приводом);
• Индивидуальное исполнение: возможность изготовления по требуемой длине.

Технические параметры