Полноразмерная трехосевая станция перемещения XYZ

Технические характеристики

Полноразмерная трехосевая станция перемещения обеспечивает движение внутренних компонентов в вакууме по осям XYZ. По направлениям X и Y используется конструкция с перекрестными роликами и шариковинтовой передачей, привод — шаговый двигатель с ручным колесом. По оси Z применяется комбинированный механизм с оптической осью и шариковинтовой передачей с функцией самоблокировки; привод — шаговый двигатель. Конструкция прочная, высокая грузоподъемность и точность.

Особенности:

• Диапазон давления: от 1 бар до 10⁻¹¹ мбар;
• Температура выпечки: 150℃ (без двигателя и его компонентов);
• Материал сварного гофрированного шланга: SS316L;
• Проходной диаметр: 102 мм;
• Верхний монтажный фланец: CF100, сквозное отверстие;
• Нижний монтажный фланец: CF150, резьбовые отверстия;
• Привод по осям X/Y: шаговый двигатель (разрешение ≤1 мкм, точность ≤10 мкм) + ручное колесо;
• Привод по оси Z: шаговый двигатель (разрешение ≤1 мкм, точность ≤10 мкм);
• Возможна индивидуальная настройка.

Технические параметры