Средняя трехосевая станция перемещения XYZ

Технические характеристики

Средняя трехосевая станция перемещения обеспечивает движение внутренних компонентов в вакууме по осям XYZ. По направлениям X и Y используется конструкция с перекрестными роликами, обеспечивающая прочность и надежность; привод может быть шаговым мотором или микрометром. По оси Z применяется комбинированный механизм с оптической осью и шариковинтовой передачей, обеспечивающий плавное движение и функцию самоблокировки; привод представляет собой шаговый мотор с ручным колесом.

Особенности

• Диапазон давления: от 1 бар до 10⁻¹¹ мбар;
• Температура выпечки: 150℃ (без двигателя и его компонентов);
• Материал сварного гофрированного шланга: SS316L;
• Проходной диаметр: 65 мм;
• Верхний монтажный фланец: CF63, сквозное отверстие;
• Нижний монтажный фланец: CF100, резьбовые отверстия;
• Привод по осям X/Y: шаговый двигатель (разрешение ≤1 мкм, точность ≤10 мкм) или микрометр (разрешение 10 мкм);
• Привод по оси Z: шаговый двигатель (разрешение ≤1 мкм, точность ≤10 мкм) + ручное колесо;
• Возможна индивидуальная настройка.

Технические параметры