Технические характеристики
- Недорогая система осаждения с компьютерным управлением
- Монитор сетевого анализатора S&A 250B
- Система измерения кристаллов
- Датчик из кварцевого кристалла и подложки вращаются по одинаковому сферическому радиусу для точного контроля толщины осаждения (Патент № 6 090 444)
- Заслонка источника с пневматическим приводом для точного завершения процесса осаждения
- Каждый держатель подложки может быть покрыт покрытием различной толщины за один и тот же цикл осаждения
- Механические узлы, защищенные от осаждаемого материала, легко снимаются для очистки
- Низкопрофильный колпак в сборе, удобный доступ оператора
- Поддерживает различные системы маскировки
- Нагреватель подложки
- Радиочастотная плазменная бомбардировка
- Устройства нанесения покрытия: Oh, Hz, F2 или Si 02
- Быстрое время простоя насосаи высокая производительность системы
- Черновой насос с прямым приводом
- Крио- или диффузионный насос
- Автоматический механизм переворачивания маски
- Возможность использования двух металлических элементов в 3 слоя
- Нагреватель подложки
- Сетевой анализатор S&A 250B
- Плазменная очистка
- Подстветка
- Компьютер
- Системное программное обеспечение на базе Windows®
- Принтер (опционально)
Технические параметры
|
Параметр |
Значение |
|
Питание |
380V или 208V, 3-фазное, 7 KVA, 50/60 Hz |
|
Входное давление |
|
|
Воздух |
90 – 100 PSIG |
|
Азот |
70 – 100 PSIG |
|
Аргон/Кислород 80/20 (плазменная очистка) |
10 PSIG |
|
Охлаждение крио насоса водой |
0.50 GPM при 60° – 80°F |
|
Охлаждение диффузионного насоса водой |
0.25 GPM при 60° – 80°F |
|
Размеры (Ш x Д x В) |
53 x 34 x 67.5 дюймов (исключая крио компрессор) |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Камера для температурных испытаний 4366 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support