Машина для нанесения покрытия горизонтальным ионным напылением IBSH-900

Технические характеристики

• Горизонтальное размещение подложки, вертикальный мониторинг;
• Перемещение мишени с программируемым положением и скоростью;
• Подложка: 12" x 1" или 6" x 4";
• Мишени: две, три или четыре сменные мишени;
• Многоканальный оптический мониторинг.
• Отсутствие пластины коррекции распределения толщины пленки

Параметры процесса:

 Вакуумная система

• Предельный вакуум: 4,0 × 10-5 Па
• Время достижения 10 Па: ≤ 10 минут
• Скорость утечки: 3,0 × 10-5 Па м³/с

 Точность управления

• Вращение мишени: 0,005°
• Вращение детали: <1000 об/мин
• Энкодер: 12 000 линий; 480 000 отсчётов/об
• Пластина коррекции толщины плёнки: 0,005°
• Затвор: позиционный переключатель

Оптическая система контроля (OMS)

• Диапазон длин волн: от 380 до 1650 нм
• Стабильность источника света: белый свет < 0,1%, лазер < 0,02%
• Разрешение по длине волны: белый свет 0,2 нм, лазер 0,1 нм
• Точность длины волны: белый свет 0,2 нм, лазер 0,1 нм