Нагревательный модуль (Heater)

Технические характеристики

Предназначен для контроля содержания частиц (Particle) в системе EFEM, а также регулировки содержания кислотных/щелочных органических соединений и относительной влажности (RH).

Ключевые характеристики:

1. Активное терморегулирование для стабилизации среды EFEM
2. Снижение концентрации летучих органических соединений
3. Предотвращение конденсации влаги за счет контроля точки росы

Технические параметры

Система предназначена для контроля содержания частиц (Particle) в модуле EFEM, а также регулировки концентрации кислотных/щелочных органических соединений и относительной влажности (RH).

Технические особенности:

1. Энергоэффективный нагревательный элемент
• Применены керамические PTC-нагреватели с повышенной безопасностью, низким тепловым сопротивлением и высоким КПД теплообмена.
2. Интуитивная система управления
• Блок управления оснащен световой сигнализацией, зуммером, интерфейсом оператора с дисплеем и кнопками, а также аварийной остановкой (EMO).
3. Прецизионный контроль параметров
• ПЛК в реальном времени обрабатывает данные с датчиков температуры/влажности для поддержания заданных параметров среды.

Коммуникационные возможности:

• Интеграция через промышленные интерфейсы (EtherNet, RS232, дискретные сигналы)
• Протоколы обмена данными с вышестоящими системами управления