WPC EVO2 Полностью автоматическая упаковочная машина NBS

Технические характеристики

• Упаковка, распаковка и сортировка 300 мм пластин (опция 200 мм)
• Соответствие требованиям SEMI S2 / S8 - сертификация третьей стороной
• Соответствие требованиям SEMI SECSGEM300 для хостинга
• Робот Rorze RR756 с модулем соответствия требованиям, откидным модулем и многокамерным концевым эффектором для обработки пластин
• Линейный или передний / задний FOUP RV-201 или FOSB LP с RFID
• Передача FOUP / FOSB E84 в RV201 LP
• Одинарный стопор с 2-HWS LP и тремя (3) выдвижными ящиками для чередования, кольцевых сепараторы или поролоновые подушки
• Обнаружение упаковочных материалов камерой Baumer
• Автоматическое снятие / замена крышки HWS (опция EVO2 AUT0)
• Автоматизированная стадия передачи HWS (опция EVO2 AUTO)
• Мини-среда класса 10
• Производительность: упаковка 140 Вт / ч, распаковка 125 Вт / ч
• Габаритные размеры: 4LP - 1309 мм Dx 2524 мм W, 6LP -1802 мм Dx 2524 мм W