WPC EVO AUTO Полностью автоматическая упаковочная машина NBS для пластин

Технические характеристики

• Полностью автоматизированная упаковка, распаковка и сортировка пластин диаметром 300 мм
• Соответствие стандартам SEMI S2/S8 - сертификация независимой организации
• Соответствие требованиям SEMI SECSGEM300 Host
• Робот Rorze RR756 с модулем соответствия, переворачивания и концевым зажимом для многокамерной обработки пластин
• 2 линейных FOUP/FOSB LP от Rorze RV-201 с RFID
• Передача FOUP/FOSB E84 на RV201 LP
• Одиночный накопитель с 1 RV-201 LP и световой завесой, настроенной для фирменного транспортера HWS
• Автоматизированное снятие/замена крышки HWS
• Автоматизированный этап передачи HWS
• Передача кольцевых сепараторов HWR300 от Entegris HWS300C партиями и поштучно
• Обнаружение упаковочного материала камерой Baumer
• Класс ISO 7 при 0,5 мкм Mini Окружающая среда
• Пропускная способность: одинарный HVWS - минимум 125 Вт/ч
• Размеры: 1526 мм (Д) x 2636 мм (Ш)