Система переноса пластин/EFEM

Технические характеристики

• Предоставлять услуги по интеграции автоматизации производственного оборудования, которые могут использоваться с интерфейсными модулями автоматизации оборудования различных размеров пластин.
• Обеспечьте 300/200/150 мм EFEM для интеграции с технологическим оборудованием или измерительными системами, а также можете предоставить индивидуальные проекты для разработки конкретных требований к конкретным потребностям оборудования или инструментов.
• С функциями SECS / GEM200 или GEM300.
• Обеспечивают высокую гибкость, высокую чистоту и высокую производительность оборудования.
• Может использоваться с автоматизированной и беспилотной системой OHT / AGV.
• Обеспечить антистатическое соответствие