Азотная продувка

Технические характеристики

Станция азотной продувки OHB N₂ от Gona может использоваться в комплексе с автоматизированным оборудованием AMHS и совместима с коммуникационным протоколом SECS/GEM.

Используется модульная конструкция, каждая группа оборудования может быть оснащена 1-4 рабочими местами для продувки по требованию.

Диапазон регулирования расхода газа: 1-50 SLM (возможна настройка других диапазонов расхода согласно требованиям заказчика).

Соответствует стандартам SEMI S2, S23, F47.

Производительность продувки (типовые значения):

• При расходе азота 35 SLM влажность внутри FOUP достигает 1% RH или ниже в течение 7 минут;
• Точность контроля расхода: ±0.2 SLM;
• Эффективность фильтрации: ≥99,9999999% при размере частиц 0,003 мкм;
• Производительность: ≥85 CPH.

Функции продувки:

• Предварительная продувка;
• Продувка в режиме простоя;
• Технологическая продувка (настраиваемая);
• Аварийная сигнализация при неисправности продувки.