Система надземного транспорта OHT

Технические характеристики

OHT (Система надземного транспорта) является ключевым компонентом AMHS (Автоматизированной системы транспортировки материалов) и широко применяется в таких областях, как производство полупроводников. Данная система транспортирует контейнеры с материалами (например, FOUP и FOSB) по рельсовой сети, размещённой на потолке, что исключает вмешательство с наземным движением, повышает эффективность транспортировки и чистоту окружающей среды. Особенно при обработке пластин большого размера, OHT эффективно сокращает производственный цикл, уменьшает затраты на рабочую силу и снижает риск загрязнения.

Помимо аппаратного обеспечения, система OHT интегрирует сложные системы управления, такие как MCS (Система управления материалами), MCP (Главный управляющий процессор) и OCS (Система управления и диспетчеризации кранами-штабелёрами), которые отвечают за управление и диспетчеризацию транспортировочного оборудования для обеспечения эффективной работы. Благодаря сочетанию интеллектуальных алгоритмов и картографических технологий, система OHT не только оптимизирует маршруты перемещения материалов, но и улучшает производительность системы через моделирование и анализ данных, повышая общую эффективность производства и надёжность.

Условия и технические характеристики

• Габаритные размеры: 909 × 404 × 914 мм (Д × Ш × В);
• Тип контейнеров: FOUP; FOSB;
• Скорость движения:

Прямолинейное движение: 5.4 м/с (МАКС.);

Криволинейное движение: 1 м/с (МАКС.);

• Вибрация и ускорение:

Прямолинейное движение: ≤ 0.5г;

Криволинейное движение: ≤ 1г;

• Ход поперечного перемещения: 85 мм (МАКС.);
• Максимальное ускорение: 5 м/с²;
• Максимальное замедление (торможение): 3 м/с²;
• Время загрузки: 12 сек (при высоте подъема 3 м);
• Точность позиционирования: ± 1 мм;
• Радиус кривизны пути: R 500 мм;
• Способ электропитания: Бесконтактная подача питания;
• Класс чистоты: CLASS 100.