Порт SMIF

Технические характеристики

Стандартный механический интерфейс (SMIF) для пластин диаметром 200 мм (8 дюймов) предназначен для размещения и открытия/закрытия контейнеров SMIF POD с 200-мм пластинами. Данная технология использует изолированную микросреду, которая защищает пластины от загрязнения в процессе транспортировки. Это не только повышает производственную эффективность, но и значительно снижает затраты на поддержание чистоты в чистых помещениях.

Разработанный и производимый компанией Gona 200-мм модуль SMIF соответствует стандартам SEMI E194, S2 и S9, обеспечивая полностью автоматизированную транспортировку пластин. Благодаря использованию передовой высокоточной системы перемещения и детекции, а также собственных алгоритмов управления, система Gona 200mm SMIF способна не только обнаруживать наличие SMIF POD, пластин и кассет, но и определять смещение пластин, их наклон и толщину.