Сортировщик пластин

Технические характеристики

Сортировщик пластин компании Gona— это оборудование для автоматической транспортировки пластин по заданному маршруту, способное сортировать пластины диаметром 200 мм и 300 мм.

Совместим со всеми стандартными SEMI контейнерами: FOUP, FOSB, OCS и металлическими кассетами.

Количество позиций размещения пластин может быть установлено в соответствии с потребностями заказчика (N=2, 3, 4, 6, 8), с возможностью установки на передней и задней стороне рамы.

Сортировщик пластин Gona оснащен оптимизированной конструкцией микросреды, обеспечивающей высочайший уровень чистоты, соответствующий требованиям стандарта ISO Class 1.

Сортировщик пластин Gona предлагает множество опциональных функций: считывание кода с пластин, механизм переворота и химический фильтр.

Характеристики продукта:

• Считыватель ID пластин;
• Ионизирующая штанга;
• Световые завесы (фотоэлектрические барьеры);
• Различные типы кассет для пластин;
• Многообразие химических фильтров;
• Считыватель RFID;
• Сканер штрих-кодов;
• Поддержка транспортировки пластин 8 и 12 дюймов;
• Контейнеры с подачей азотной среды;
• Стандартные протоколы передачи данных для полупроводниковых производств.

Условия и Технические характеристики

• Время безотказной работы ≥ 98%;
• Наработка на отказ ≥ 3 000 часов;
• Среднее время восстановления ≤ 0,5 часа;
• Средний цикл безотказной работы оборудования ≥ 10 000 циклов;
• Среднее время между запросами технической поддержки ≥ 750 часов;
• Уровень повреждения пластин ≤ 1 / 1 000 000;
• Количество циклов работы без аварийных сигналов ≥ 30 000 циклов;
• Уровень сбоев при считывании ID пластин ≤ 0,5%;
• Производительность передачи пластин ≥ 300 пластин/час.