Система уничтожения отработанных пластин

Технические характеристики

Tiger Shark — это автоматическая система для уничтожения пластин. Она предназначена для пластин, которые не проходят финальное тестирование (технология Flash).

Это оборудование разрушает полупроводниковые пластины с помощью химических веществ и может использоваться для уничтожения масок с использованием специальных растворов.

Эта система в автоматическом режиме предназначена для 25 пластин на одном держателе размером 8–12 дюймов. После химической обработки в технологическом резервуаре происходит промывка. Раствор для травления собирается и хранится в другом резервуаре внизу для повторного использования.

Оборудование для утилизации отработанных пластин управляется с помощью ПЛК и сенсорного экрана, что позволяет контролировать всю систему. Программное обеспечение разработано инженерами SPM с использованием современной графики и обладает широким набором функций, таких как:

• Управление рецептами;
• Ведение журнала данных: в реальном времени и за прошлые периоды;
• Прямое управление P&I: непосредственное воздействие на клапаны и насосы для технического обслуживания;
• Интерфейс хоста SECS-GEM (опционально).