Оборудование для нанесения выровненных роликовых наноимпринтов

Технические характеристики

Научно-исследовательское и серийное производство оборудования для роликового нано-тиснения с возможностью высокоточного выравнивания, широко используемого во всех видах узоров с высоким соотношением сторон, спиральных сетках, микроколонках, решетках, структурах WGP, DOE и т.д., подходящих для НИОКР и массового производства

http://www.gdnano.com/static/upload/image/20230629/1687997656516048.jpg

Технические параметры

1. Способ тиснения: ультрафиолетовое роликовое тиснение
2. Размер подложки: совместимость с 8 и 12 дюймами (возможна обратная совместимость с меньшими размерами по требованию заказчика) |
3. Толщина подложки: 0,3-3 мм (возможна адаптация к различной толщине по требованию заказчика)
4. Материал подложки: кремниевые пластины, кварц, стекло, полимерные пленки и др. - поддерживаются различные типы подложек
5. Тип вспомогательной пластины: композитная пресс-форма из ПЭТ
6. Материал мастер-шаблона: Кремний, металл, кварц, стекло
7. Диапазон ширины линии тиснения: 30 нм - 1000 мкм
8. Соотношение сторон: до 10:1
9. Отклонение размера между пластинам: <3%
10. Отклонение от размера мастер-шаблона : <3%
11. Источник света: Светодиодный источник света 365 нм
12. Источник света :Максимальная мощность: 500 мВт/см² (возможен выбор источника большей мощности по требованию)
13. Источник света: Диапазон регулировки мощности: 1%-100%
14. Источник света: Охлаждение: естественное или водяное (выбирается в зависимости от требований)
15. Совмещение: Метод совмещения: оптическое выравнивание
16. Совмещение: Автоматическое распознавание и совмещение
17. Совмещение: Точность совмещения: ±2 мкм
18. Нагрев платформы (опция): Максимальная температура нагрева: 85°C
19. Нагрев платформы (опция: Точность контроля температуры: ±1°C
20. Блок хранения вспомогательных пластин: Вместимость: 6 вспомогательных пластин
21. Блок хранения вспомогательных пластин: (Возможен выбор в соответствии с требованиями)