Технические характеристики
Настольная система загрузки/разгрузки для пластин размером 2-3 дюйма, 100 мм из стекла, сапфира, SiC, GaN и других материалов.
Компактная настольная система с интегрированным модулем транспортировки и измерительным столом.
Длинный ход по осям X (190 мм) и Y (200 мм) позволяет вращать пластину в любой позиции XY-платформы с помощью манипулятора.
Двухзахватная конструкция манипулятора эффективно сокращает время замены пластин на измерительном столе.
Комбинация манипулятора и утопленного калибровочного стола обеспечивает высокое соотношение цена/производительность, малую занимаемую площадь и высокую производительность.
Среда использования: Атмосфера чистого помещения
Радиус действия: 225 мм (до центра перемещаемого объекта)
Размер пластины: ~100 мм
Перемещаемые объекты: Стекло, сапфир, SiC, GaN пластины и другие материалы
По вопросам технических характеристик продукта обращайтесь к нашим специалистам.
Грузоподъемность: 0,1 кг (только масса перемещаемого объекта)
Технические параметры
|
Перемещаемые объекты |
~100 мм пластины (стекло, сапфир, SiC, GaN и др.) |
|
Рабочий диапазон |
|
|
Доступ до центра объекта |
225 мм |
|
Угол поворота (θ) |
360° |
|
Средняя скорость |
|
|
Ось R |
225 мм/сек |
|
Ось θ |
500°/сек |
|
Ось Z |
200 мм/сек |
|
Максимальная скорость |
|
|
Ось R |
300 мм/сек |
|
Ось θ |
700°/сек |
|
Ось Z |
300 мм/сек |
|
Способ фиксации |
Вакуумное всасывание |
|
Повторяемость |
±0,1 мм |
|
Класс чистоты |
ISO Class 2 (при отдельной вытяжке из приводных механизмов) |
|
Масса манипулятора |
~15 кг |
|
Питание |
AC100V±10%, 0,2 кВА |
|
Вакуум |
Лучше -53 кПа |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Система транспортировки пластин SSY-10000 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support