Технические характеристики
- Продукция серии Aligner "SAL3000HV", выпущенная после 14 декабря 2016 года, оснащается программным обеспечением JEL ALIGN TOOL с функцией полностью автоматической регулировки.
Значительно сокращает временные затраты заказчика.
Подробная информация о новой серии Aligner "SAL3000HV" (версия с полной автоматизацией).- Новый Aligner предназначен для пластин размером 200-300 мм и подходит для различных типов пластин.
- Обеспечивает калибровку положения пластин из различных материалов: кремниевых пластин, кремниевых пластин с BG-лентой (молочного цвета), прозрачных и полупрозрачных пластин.
Использует собственный разработанный сенсор распознавания изображений, контроллер и драйвер двигателя, интегрированные в корпус устройства.
Позволяет изменять диаметр, форму и материал шпинделя в соответствии с размером и материалом пластины.
Может использовать бесконтактный метод Бернулли для фиксации.
Способ управления: последовательный интерфейс RS232C или параллельный оптический I/O-интерфейс.
Возможность индивидуального проектирования даже для стандартов SEMI формы выемок и срезов.
Возможность добавления оси Z к шпинделю для подъема и опускания пластин.
Возможность настройки выбора оси Z для операции повторного захвата пластины.
- Среда использования: Атмосфера чистого помещения
Размер пластины: 200-300 мм
Перемещаемый объект: Прозрачные, полупрозрачные и кремниевые пластины
Технические параметры
|
Перемещаемый объект |
Пластины по стандарту SEMI: 200-300 мм (прозрачные, полупрозрачные, кремниевые пластины). Возможно индивидуальное проектирование под нестандартную форму и материал пластин |
|
Время определения положения |
Определение центра пластины: 3 сек (без учета времени захвата и отпускания пластины) |
|
Точность позиционирования |
Центр пластины: в пределах ±0,1 мм |
|
|
Срез/выемка пластины: в пределах ±0,1° |
|
Датчики |
Светодиодная подсветка + сенсор распознавания изображения для детектирования кромки пластины |
|
Переключение размеров пластин |
Командное управление или связь через интерфейс |
|
Класс чистоты |
ISO Class 2 (при отдельной вытяжке из приводных механизмов) |
|
Привод |
2-фазные шаговые двигатели (3 оси), контроллер двигателей и генератор импульсов встроены в корпус |
|
Питание оборудования |
DC24V±10%, 3A |
|
Вакуум |
Выше -53 кПа |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SAL38C4HV |
По запросу |
JoomShopping Download & Support