Технические характеристики
- 4-осевой цилиндрический координатный манипулятор чистого помещения серии LTHR4000 для транспортировки стеклянных подложек.
Предназначен для перемещения стеклянных подложек внутри производственного оборудования жидкокристаллических дисплеев и контрольно-измерительной аппаратуры.
Многосекционная конструкция оси Z с диапазоном перемещения более 760 мм позволяет эффективно снизить высоту транспортировки. - Стандартная длина манипулятора: 400 мм, 500 мм
Стандартный ход по оси Z (вертикальной): 400 мм, 500 мм, 600 мм, 760 мм, 900 мм
(оси Z свыше 760 мм имеют многосекционную конструкцию, внешний вид может отличаться от изображений на фотографиях)
Грузоподъемность: до 15 кг (в суставе 3-го звена для длин 400 мм, 500 мм) - Двухрычажная конструкция сокращает время перемещения манипулятора при замене подложек
Возможность выбора между фиксацией на основании или фланцевом креплении в соответствии с требованиями оборудования
Оснащение монитором контроля движения
Способ управления и связи: интерфейс RS232C и параллельный I/O-интерфейс
Все оси используют серводвигатели переменного тока со встроенными абсолютными энкодерами
Управление ускорением/замедлением по S-образной кривой обеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку стеклянных подложек
Способы фиксации подложки: вакуумное всасывание, нижняя поддержка, зажим кромки, бесконтактный метод Бернулли
Материал захвата: CFRP (углепластик), алюминиевый сплав, высокочистая керамика и другие доступные варианты
Возможность установки различных датчиков на захват (калибровки, обнаружения, картирования и др.)
Возможность подбора оптимального захвата в соответствии с типом перемещаемых объектов и компоновкой оборудования
|
Рабочая среда |
Атмосфера чистого помещения: температура 15°C-40°C |
|
Вакуумный манипулятор |
|
|
Температура в вакуумной камере |
до 50°C |
|
Конфигурация манипулятора |
Двухрычажная |
|
Радиус действия |
1550 мм (до центра перемещаемого объекта) |
|
Макс. ход по вертикальной оси |
400 мм / 500 мм / 600 мм / 760 мм / 900 мм |
|
Грузоподъемность |
15 кг (в суставе 3-го звена манипулятора) |
Список моделей:
|
LTHR4400C-400-AM |
400 мм |
|
LTHR4400C-500-AM |
500 мм |
|
LTHR4400C-600-AM |
600 мм |
|
LTHR4400C-760-AM |
760 мм |
|
LTHR4400C-900-AM |
900 мм |
Примечания:
- Технические характеристики приведены для стандартной конфигурации
- Модификация с индексом AM предназначена для специальных применений
- Все модели предназначены для работы в условиях чистых помещений
- Грузоподъемность указана с учетом момента нагрузки н
Технические параметры
|
Модель манипулятора |
LTHR4400C-600-AM |
|
Перемещаемый объект |
Стеклянная подложка 730×920×1,1 мм (стандартный типовой размер) |
|
Кинематическая схема |
Цилиндрические координаты |
|
Количество осей управления |
4 |
|
Тип двигателей |
Серводвигатели переменного тока (все оси) |
|
Доступ до центра объекта |
1550 мм |
|
Угол поворота (θ) |
330° |
|
Вертикальное перемещение (Z) |
600 мм |
|
Скорость: ось R |
1375 мм/1,8 сек |
|
Скорость: ось θ |
180°/1,8 сек |
|
Скорость: ось Z |
600 мм/1,7 сек |
|
Точность: ось R |
≤ 8,20 мкм |
|
Точность: ось θ |
≤ 0,0008° |
|
Точность: ось Z |
≤ 2,4 мкм |
|
Высота транспортировки |
271 мм (от монтажной плоскости фланца до плоскости установки подложки) |
|
Повторяемость |
±0,2 мм |
|
Класс чистоты |
Class 10 (0,3 мкм, при отдельной вытяжке из приводных механизмов) |
|
Питание |
Трехфазный AC200V±10%, 3 кВА |
|
Вакуум |
Выше -73 кПа |
|
Спецификация контроллера |
|
|
Параметр |
Значение |
|
Модель контроллера |
Серия C5000S |
|
Интерфейс связи |
RS232C и параллельный I/O-интерфейс |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
LTHR4400C |
По запросу |
JoomShopping Download & Support