GTFR5280 5-осевой шарнирно-сочлененный манипулятор для чистых помещений с горизонтальной конфигурацией

Технические характеристики

Конструкция с одним манипулятором и двойным захватом обеспечивает функциональность, аналогичную двухрычажным системам.
Предназначен для транспортировки пластин внутри производственного оборудования и модулей EFEM для 300-мм пластин.

По сравнению с предыдущей моделью GTCR нашей компании, обеспечивает:

• Сокращение зон ограничения движений
• Уменьшение ограничений по скорости
• Повышение эффективности передачи пластин
• Один манипулятор может обслуживать 3 FOUP(при длине 280 мм)
• Конструкция с двойным захватомсокращает время перемещения при замене пластин
• Все оси используютсерводвигатели переменного тока со встроенными абсолютными энкодерами (не требуют батареи)
• Способы фиксации пластин:вакуумное всасывание, нижняя поддержка, зажим кромки
• Возможность подбораоптимального захвата в соответствии с типом объектов и компоновкой оборудования

Технические параметры