Бернулли манипулятор (бесконтактного типа)

Технические характеристики

Бернулли манипулятор, разработанный специально для деформированных и тонких кремниевых пластин, сочетающий высокую производительность и экономическую эффективность.

• Совместим со всеми типами манипуляторов для атмосферной среды производства JEL.
• Проведены практические испытания транспортировки с использованием образцов пластин. Возможность индивидуального проектирования манипуляторов для пластин любых размеров, степени деформации, толщины и формы в соответствии с требованиями заказчика.
• Захват пластины осуществляется за счёт разницы давления воздушного потока, создаваемого по принципу Бернулли.
• Фиксация положения пластины и предотвращение её смещения в процессе транспортировки обеспечивается за счёт зажима кромки.
• За исключением контакта кромки пластины с зажимными губками, другие части манипулятора не соприкасаются с поверхностью пластины.
• Для пластин разных размеров требуются соответствующие манипуляторы.
• По сравнению с вакуумными манипуляторами, манипулятор распределяет силу сцепления по всей поверхности пластины, что делает его более подходящим для транспортировки тонких пластин.
• Поскольку манипулятор не контактирует с лицевой и обратной сторонами пластины, он идеально подходит для применения в особых процессах, где такой контакт нежелателен.

Технические параметры

PEEK -высокопрочный термопластичный полимер