Ручка-присоска Bernoulli

Технические характеристики

Оборудование устроено по принципу Бернулли, что позволяет надежно захватывать тонкие и облегченные пластины. Поскольку данный метод не является вакуумным всасыванием, ручка сводит к абсолютному минимуму риск повреждения пластин.

Подвижный наконечник захвата обеспечивает работу не только с горизонтально расположенными пластинами, но также позволяет извлекать и размещать пластины из кассет (лотков) для пластин (cassette).
Кроме того, устройство может применяться для перемещения различных объектов помимо полупроводниковых пластин.

Захват пластины осуществляется за счет вихревого эффекта, при этом присоске не требуется полный контакт с поверхностью пластины.
Прокладка из фторкаучука, которая контактирует с объектом, амортизирует ударные нагрузки во время захвата и не требует зажима кромок объекта.

Технические параметры

Примечание: Вихревая присоска (или вихревой патрон) создает вакуум за счет эффекта Бернулли, когда сжатый газ, проходя через специальную камеру, создает зону низкого давления для подъема объекта.