Ультразвуковой сканирующий микроскоп (GRD-CS3)

Продукт использует высокочастотные ультразвуковые волны для обнаружения различных полупроводниковых устройств и материалов, а также может обнаруживать дефекты, такие как поры, трещины, надрезы и расслоения внутри образца, и визуально отображать это в графическом виде.

Технические характеристики

• Поддержка таких режимов сканирования, как сканирование A, B и C, сканирование с передачей, многослойное сканирование, сканирование лотков и измерение толщины.
• Расположение, форма и размер внутренних дефектов измеряемой детали могут быть отображены в виде изображений, а размер и площадь дефектов могут быть подсчитаны, и процент дефектов в измеряемой области может быть рассчитан автоматически.
• Ось сканирования оснащена линейным двигателем и линией с обратной связью, что позволяет получить более высокую точность перемещения и максимальное разрешение 0,1 мкм.
• Подходит для быстрого сканирования и анализа, а образцы также могут быть размещены партиями для одновременного выявления дефектов.
• Ультразвуковая полоса пропускания системы широка, а частота совместимых ультразвуковых датчиков может составлять от 1 до 300 МГц.

Технические параметры