Монолитное очистное оборудование Ultra C SAPS II 300 мм

Используются для фронтальной и обратной очистки пластин, а устройства с ультразвуком обеспечивают высокое качество очистки в сочетании с другими устройствами. Оборудование может быть широко использовано в области производства крупных кремниевых пластин.

Технические характеристики

• Может применяться для очистки 6-дюймовых, 8-дюймовых или 12-дюймовых пластин;
• Можно сконфигурировать до 8 комплектов чистящих камер;
• Для процесса очистки может быть сконфигурировано до 5 видов жидких лекарственных средств, таких как жидкие лекарственные средства RCA, плавиковая кислота, озоновая вода, деионизированная вода и т.д;
• Можно использовать процесс очистки листа подложки и эпитаксиальной пластины.