Оборудование для уборки TAHOE

Объединяет желобчатый модуль и модуль монолитной очистки в одном оборудовании для достижения эффективной производительности очистки, а расход серной кислоты в нем составляет всего 10% или меньше от расхода традиционного оборудования для монолитной очистки SPM. Это оборудование может быть широко использовано в области производства передовых интегральных схем.

Технические характеристики

• Модуль очистки желоба SPM объединен с монолитной полостью очистки для проведения процесса дегуммирования. Срок службы SPM можно регулировать в зависимости от времени использования и количества обрабатываемых деталей. На этом этапе количество используемого SPM может быть сокращено более чем на 80% по сравнению с монолитным оборудованием для высокотемпературной очистки;
• Жидкости общего назначения, такие как DHF, SC1, SC2 и O3, могут быть помещены в монолитную пластинчатую полость. Форсунки или ультразвуковая очистка могут быть сконфигурированы по мере необходимости для повышения эффективности удаления твердых частиц загрязняющих веществ;
• Последовательность процессов может быть гибко настроена, и оборудование может выполнять процессы очистки лотков или только отдельные процессы очистки в соответствии с различными потребностями продукта.

Технические параметры