Матричный датчик на подложке "Луч-к-лучу"

Широко используется в линиях производства полупроводниковых элементов, таких как плоские дисплеи, и используется для определения распределения материалов в кассете (со стеклянной подложкой или без нее).

Технические характеристики

• Минимальная толщина применяемой стеклянной подложки или тонкопленочной подложки может достигать 0,1 мм
• Под влиянием множества факторов, таких как толщина, цвет, прозрачность, поверхностное покрытие и деформация измеряемого объекта, обнаружение остается точным
• Была реализована сериализация продукции, начиная с линейки 5,5-го поколения и заканчивая линейкой 11-го поколения, от линии по производству жидких кристаллов до линии по производству OLED
• Инфракрасная фотоэлектрическая технология обнаружения
• Алгоритм обнаружения прозрачной ультратонкой стеклянной подложки
• Сброс субстрата, обнаружение инородных тел и технология сигнализации
• Алгоритм инициализации интенсивности света для адаптации к окружающей среде
• Технология интерфейса коммуникационной шины