Технические характеристики
- Предотвращение попадания рефлюкса в основную технологическую камеру;
- Сокращает количество простоев технологического оборудования и увеличивает производственные мощности;
- Затраты на нагрев втулки и покрытие труб сводятся к минимуму для предотвращения засорения выхлопных газов;
- Основные отрасли применения: Полупроводниковые, FPD, солнечные, светодиодные;
- Основной процесс нанесения: Олово-CVD, травление металла, ALD, SIN, BPSG, нитрат, W-CVD.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Система сбора пыли путем изменения физического состояния |
По запросу |
JoomShopping Download & Support