Оборудование для склеивания Propus

Технические характеристики

Propus — это оборудование для предварительной обработки поверхности, независимо разработанное компанией Tuojingjianke для использования в сценариях гибридного соединения чип-пластина. Оно обычно используется на линиях производства чип-пластина и имеет встроенные камеры плазменной активации и камеры очистки. Propus компании Tuojing — первое оборудование такого типа в этой области, которое будет использоваться для массового производства в Китае.

• Совместимость с различными несущими коробками в сценариях соединения чипа с пластиной.
• Очистка полупроводников на переднем этапе технологического процесса и возможность плазменной активации с высокой прочностью соединения.
• Высокая пропускная способность и контроль микросреды на предварительной стадии процесса.