12-дюймовое оборудование для склеивания Dione 300, Dione 300F

Технические характеристики

Dione 300 — это серия продуктов для склеивания пластин, независимо разработанная Tuojingjianke, которая используется для склеивания пластин на поверхностях из нескольких материалов при комнатной температуре. Процесс соединения пластин широко используется в таких областях, как 3D-ИС, современная упаковка и CIS (датчик изображения). В серию продуктов входят Dione 300 и Dione 300F, которые могут быть оснащены модулями активации поверхности пластины, очистки, склеивания и измерения точности склеивания. Его преимущества заключаются в высокой точности выравнивания, высокой производительности и отсутствии дефектов.

• Сверхточная функция выравнивания пластин.
• Возможность субмикронной сварки пластин.
• Оснащен высокоточным деформационным патроном и системой компенсации деформации.
• Более гибкие варианты технологической камеры.
• Оснащен автоматической системой технологической компенсации.
• Может быть оснащен функцией выравнивания Quasi-mark система идентификации.
• Может быть оснащена системой контроля положения пластины.