Полностью автоматическая машина для очистки СКРУББЕР KS-CF300/200-8SR

Очищающую машину можно использовать для очистки поверхности, задней стороны и края пластины. Инновационная технология двухжидкостного сопла позволяет удалять мелкие загрязняющие частицы, прилипшие к поверхности пластины, обеспечивая эффективное удаление. Благодаря сочетанию большого количества симуляций и технологических экспериментов оптимизируются лучшие параметры процесса очистки, чтобы гарантировать, что рисунок на поверхности пластины не будет поврежден. Для крупных частиц микронного уровня используются щетки из специальных материалов или распылители под высоким давлением; используется для очистки и удаления пластин. Благодаря уникальному устройству поворота пластин и прижимному столику пластины можно очищать как переднюю, так и заднюю стороны пластины на одном и том же оборудовании.

Технические характеристики

1. В машине могут использоваться антистатические трубопроводы, чтобы предотвратить попадание статических зарядов в воду на поверхность пластины и повреждение графики.
2. Переворачивающий блок имеет меньше точек контакта, что уменьшает площадь контакта с пластиной.
3. Все таблицы представляют собой цифровые дисплеи. Данные загружаются в промышленный компьютер для удобства отслеживания.
4. Машина оптимизирует путь передачи и значительно увеличивает производственную мощность.
5. Программное обеспечение настраивается, интерфейс удобен и может быть изменен в соответствии с требованиями заказчика.
6. Более эффективный FFU.
7. Послепродажное обслуживание: быстрый ответ, местное заводское обслуживание (7X24 часа).
8. Поддержка автоматизации производства.

Области применения:

• Очистка до и после трубы вафельной печи
• Очистка до и после химического осаждения из паровой фазы (CVD)
• Очистка до и после физического осаждения из паровой фазы (PVD)
• Очистка до и после химико-механической полировки (CMP), очистка после переднего и заднего сухого травления.
• Особые технологические требования. Очистка тыльной стороны и кромки пластины.