Машина для распыления клея ASP APRAY

Конфигурация устройства

2-4 камерные (опция: COT, DEV)

Мощность оборудования

20 Втч

Материал подложки

Si, Стекло и т.д.

Применимый процесс

Напыление клея с глубокими отверстиями TSV, ступенчатое напыление клея с большим удлинением.

Индикаторы процесса

Плоская однородность ≤5% при ступенчатом покрытии 5-10 мкм ≥30%

Области применения

Передовая упаковка, MEMS, научные исследования и т.д.

Технические характеристики

·         Подходит для процессов распыления круглых или квадратных подложек с высокой морфологией поверхности, с глубокими отверстиями на поверхности. Ультразвуковые распыленные частицы фоторезиста могут равномерно покрывать поверхность ступени, края, боковые стенки и дно.

·         Сопло оснащено автоматическим устройством; функция очистки.

·         Оборудование может быть оснащено единой клеевой камерой и камерой проявки.

Размер оборудования

2665*1724*2432 мм (Ш*Г*В)

Модель

Стоимость, доллары США

Машина для распыления клея ASP

APRAY

Цена по запросу.