Машина для склеивания пластин TORCH520

Технические характеристики

Выравнивание и склеивание пластин - это укупорка на уровне пластин, упаковка на уровне пластин, инженерное изготовление подложки, 3D-интеграция на уровне пластин и утончение пластин. Эти процессы позволили добиться поразительного роста числа устройств MEMS, радиочастотных фильтров и BSI (с обратной подсветкой) CIS (CMOS-датчиков изображения). Кроме того, эти процессы позволяют также производить инженерные подложки, такие как SOI (кремний на изоляторе). Основными процессами склеивания являются: адгезивный, анодный, прямой / плавлением, стеклянный порошок, припой (включая эвтектическую и переходную жидкую фазу) и диффузия металла / горячее прессование.

Машина для склеивания Torch520 в основном используется для процесса склеивания пластин толщиной 8 дюймов (D200 мм), который обеспечивает склеивание пластин за счет равномерного давления и точного контроля перемещения в горячем состоянии. Оборудование обеспечивает дополнительный процесс создания давления в продукте при низком вакууме 0,1 (мбар) /высоком вакууме (1E-6 мбар) с максимальным давлением до 60 (КН) и максимальной температурой нагрева до 650 ° C для герметичного типа. Оборудование может удовлетворять требованиям скорости повышения и понижения температуры 40 К / мин и может обеспечивать защиту атмосферы от избыточного давления в конце процесса с защитным давлением до 3 (бар).В продукте используется метод открытия и закрытия верхней и нижней полостей, а также конструкция открытия и закрытия верхней полости, соответствующая эргономическим требованиям; в системе используется охладитель воды с замкнутым контуром и циркуляционное водяное охлаждение для достижения быстрого охлаждения. Оборудование может выбрать способ очистки муравьиной кислотой перед началом процесса.

Количество камер: 1; метод контроля температуры: верхняя и нижняя напорные головки индивидуально регулируют температуру; метод открытия полости: конструкция верхнего отверстия полости, отвечающая требованиям эргономики; метод работы системы: циркуляционное водяное охлаждение, подготовка теплообменников с водяным охлаждением с замкнутым контуром. Дополнительно: Защита от давления; атмосфера муравьиной кислоты；