Оборудование для зачистки металла (серия CC)

Область применения：Силовые устройства, фильтры、МЭМС、СВЕТОДИОДНЫЙ

Технологии дегуммирования и зачистки металла в других областях 

Размер кристаллической подложки：150-300 мм

Технические характеристики

• Полость (замачивание, отшелушивание, очистка)
• Поддерживающая дополнительная многопроцессорная полость
• Максимальная скорость3000 Об/мин, точность скорости±1 Об/мин
• NMP Температура нагрева комнатная температура~90℃±2℃
• Дегуммирование под высоким давлением, максимальное давление может достигать18 МПа
• Технологическая жидкость может быть переработана и использована для циркулирующей фильтрации
• Оснащен функцией ультразвукового обезжиривания
• Снабженный CO2
• Автоматическая система пожаротушения          

Индекс процесса：Без остатков фоторезиста и металла