Технические характеристики
- Эффективная система обработки пластин
- Система визуального контроля с непрерывным цифровым увеличением
- Алгоритм прогнозирования износа лезвий сокращает время измерения высоты и увеличивает срок службы
- Технология очистки пластин распылением обеспечивает превосходные результаты процесса
Материалы:
- Кремний
- Стекло на кремнии
- MEMS
- Пластины из GaAs
- Разделение упаковки
- (BGA и QFN)
- LTCC
- Печатная плата
- Твердые материалы
Технические параметры
|
Технические характеристики |
7234 |
|
|
Размер заготовки |
Ø 12 ” или 253x243 мм |
|
|
Шпиндель |
30 Тыс. об / мин / 2,5 кВт |
|
|
Размер лезвия |
4” – 5” |
|
|
Ось Y |
Управление |
Линейный энкодер
1,0 мкм 350 мм |
|
Ось X |
Скольжение воздуха |
|
|
Ось Z |
Разрешение |
0,2 мкм |
|
Θ Ось |
Повторяемость |
4 угловых секунды |
|
Станция очистки |
|
Полный цикл промывки и сушки |
|
Служебные программы |
Электрические |
200-240 В переменного тока, 50/60 Гц, однофазный |
|
Размеры |
(Ш x Г x В) мм |
1100 × 1785 × 1700 |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
7234 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support