Происхождение продукта: Шэньян, Китай
Пропускная способность: 50 комплектов
Плазменная камера малого плазмоочистителя PCE-6 представляет собой кварцевую камеру Ø160×190 мм. Используемая радиочастотная мощность составляет 3,0 МГц (1%), а выходная мощность регулируется на трех уровнях: 7,2 Вт, 10,2 Вт и 29,6 Вт. Эта машина в основном удаляет оксидный слой и загрязнения с подложек посредством плазмы воздуха, кислорода или аргона и других газов, а также может изменять свойства поверхности объектов (например, гидрофильность и гидрофобность и т. д.).
Технические характеристики
- С помощью кнопок и переключателей панели управления можно контролировать и регулировать мощность RF, открытие и закрытие вакуумного насоса, а также время очистки.
- Время, мощность, степень вакуума и другая информация отображаются на группе из 4 цифровых трубок.
- Оснащен трехходовым клапаном, который позволяет точно контролировать поток всасываемого воздуха и очищать камеру атмосферным воздухом. Входной интерфейс представляет собой интерфейс для карточек толщиной 6 мм.
- Для проведения экспериментов по плазменному травлению и озолению выбрано высокочастотное оборудование источника питания большой мощности.
Технические параметры
|
Наименование продукта |
PCE-6 Малый плазменный очиститель |
|
Модель продукта |
PCE-6 |
|
Основные параметры (Спецификация) |
1. Источник питания: 220 В переменного тока, 50/60 Гц. 2. Выходная мощность: 7,2 Вт, 10,2 Вт, 29,6 Вт. 3. Мощность вакуумного насоса: <500 Вт. 4. Общая мощность: <600 Вт. 5. Частота RF: 3,0 МГц, мощность можно регулировать вручную на 3 уровнях. 6. Плазменная камера: кварцевая камера высокой чистоты Ø160мм×190мм, герметичная алюминиевым фальцевым фланцем со смотровым окном Ø45мм на фланце. 7. Вакуумный насос: 120 л/мин, двухступенчатый ротационный вакуумный насос с прямым подключением. 8. Предельный вакуум: 50 мторр. 9. Введение газа: для генерации плазмы можно вводить различные газы, такие как N2, Ar, H2, O2, воздух и смеси газов (выбранные в зависимости от свойств материала) для очистки и травления. |
|
Размеры и вес продукта |
Размер: 400 мм×300 мм×300 мм Вес:10,2 кг
|
|
Дополнительные аксессуары |
1. Кварцевая лодочка/носитель размером 2–6 дюймов (для удержания подложки) 2. 2-4-канальная система смешивания протонов или поплавкового газа. |
Гарантия
Ограничено одним годом с пожизненной поддержкой (не включая ржавые детали из-за ненадлежащих условий хранения)
|
Модель: |
Стоимость: |
|
Плазменный очиститель с вакуумным насосом |
По запросу |
JoomShopping Download & Support