Он может соответствовать входящим и исходящим материалам Sputter различных марок. Подходит для пластинчатых или квадратных рам размером 12 дюймов и ниже. Его можно соединить с передним и задним процессами Sputter для обработки материалов на поддонах.
Технические характеристики
Подходит для всех типов поддонов, с возможностью программирования положения и кэширования вафельных рамок.
Использование высокоточных 4/6-осевых манипуляторов с видеонаблюдением для перемещения материала.
В секции вырубки можно хранить 10 единиц продукции.
Совместимость с квадратной рамкой размером 250X250 мм.
Оснащен механизмом ионно-воздушной очистки ножей.
Технические параметры
|
UPH |
>60 шт. |
|
Обруч/метод переноски |
Вакуумное всасывание отрицательного давления/электрический захват/цилиндр |
|
Точность размещения |
±0,05 мм |
|
Поддержка размера обруча |
Квадратное железное кольцо ≤250x250 мм |
|
Вероятность успешного сканирования кода |
>99,99% |
|
Поддержка функции очистки |
Ионно-воздушная очистка ножей, вакуумная адсорбция |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Загрузчик и разгрузчик для системы напыления |
Цена по запросу |
JoomShopping Download & Support