Автоматическая высокоточная штамповочная машина PHOTON PRO

Технические характеристики

Размеры Ш x Д x В

2280 мм x 1735 мм x 1780 мм

• Запатентованная технология сквозного распознавания образов
• Высокоточное склеивание
• Расположение по оси XY: ± 3 мкм при 3σ
• Вращение матрицы: ± 0,1 ° при 3σ
• Большой объем обработки подложки, максимальный размер подложки 200 x 215 мм
• Возможность склеивания нескольких микросхем
• Автоматическая смена инструмента для склеивания, до 10 буферов для склеивания
• Автоматическая замена пластин, кольцо Foton диаметром до 6 x 6 дюймов с двухступенчатой системой выталкивания
• Возможности высокой гибкости для удовлетворения требований различных многокристальных пакетов

Дополнительные функции

• Автоматическое переключение с дозирования на штамповку
• До 5 выталкивающих инструментов
• Каскад с устройством подачи ленты
• Датчик уровня для управления BLT
• Склеивание Insitu с УФ-отверждением
• Упаковка для вафель / Gel-pak