Оборудование для RCA-очистки

Особенности оборудования

• Наличие опций сушки: сушка IPA и спин-сушка
• Возможность предустановки нескольких технологических рецептов (Recipe), простота управления, поддержка многопартионной обработки для повышения производительности
• Разработка различных схем сброса в соответствии с требованиями заводской инфраструктуры
• Разработка различных схем подачи жидкостей в соответствии с требованиями заводской инфраструктуры
• Эффективный контроль перекрестного загрязнения металлами, материалами и микрочастицами
• Модульная конструкция программного и аппаратного обеспечения
• Наличие в ПО и аппаратуре интерфейсов для связи с MES
• Запись производственных данных в реальном времени, расширенные функции анализа данных
• Опциональный интерфейс SECS/GEM
• Модульная конструкция с установкой датчиков утечки (Leak Sensor) в соответствии с технологическими требованиями
• Полный трекинг обрабатываемых изделий с функциями: отслеживание выполнения операций, мониторинг состояния оборудования, сводка неисправностей, управление производственными заданиями

Модель

Стоимость, доллары США

Оборудование для RCA-очистки

По запросу