Оборудование для автоматического одностадийного удаления металла с пластин

Технические характеристики

SPM производит полностью автоматизированное оборудование для удаления металла, разработанное в соответствии с требованиями заказчика.

Поддерживаемые размеры пластин: от 3" до 8".

Автоматизированный робот поочередно загружает пластины из кассеты в процессную камеру.

Весь процесс выполняется в одной камере:

• Удаление металла (lift-off);
• Промывка (Rinse);
• Сушка на высокоскоростной центрифуге (Dry with high-speed spinner).

Металлический подъёмный резервуар, который мы спроектировали, полностью изготовлен из ПТФЭ и включает в себя:

• Вращающееся плато с бесщёточным серводвигателем (регулируемая скорость до 5000 об/мин), с вакуумом для фиксации пластины;
• Автоматическая крышка с электроприводом; с функцией автоматического открывания дверцы и проходом для мегазвукового датчика;
• Мегазвуковой преобразователь «Megpie»на частоте 1 МГц;
• Двухкоординатный программируемый электрический манипулятор для перемещения мегазвукового преобразователя из исходного положения; рециркуляция H2ODI внутри резервуара с непрерывным переливом;
• Рециркуляция H₂O DI (деионизированной воды) внутри резервуара с непрерывным переливом;
• Подача раствора Lift Off при контролируемой температуре; раствор поступает из буферного резервуара с помощью насоса;
• Насос высокого давления для удаления остатков металла.

Оборудование для удаления металла (Lift-Off) управляется через ПЛК и сенсорный экран, которые контролируют всю систему.

Программное обеспечение разработано инженерами SPM с современным интерфейсом и расширенными функциями, такими как:

• Управление рецептами;
• Ведение журнала данных в реальном времени и архивирование;
• Прямое управление приборами и клапанами для обслуживания;
• Интерфейс SECS-GEM для интеграции с хост-системой (опционально).

Все установки производятся в соответствии с нормами безопасности CE.

Мы также можем изготовить оборудование с сертификацией ATEX, если это требуется.