Очистка деталей технологического оборудования

Технические характеристики

Компания SPM производит специализированное оборудование для очистки металлических деталей, демонтированных из технологических установок, таких как машина Oerlikon TCO1200 (используется для нанесения прозрачных проводящих оксидных слоёв высокой производительности для крупноформатных тонкоплёночных солнечных модулей).

Наши установки способны очищать детали размером до 1600×1600 мм и весом до 300 кг. Для очистки мелких деталей в том же оборудовании мы разработали специальные корзины, которые устанавливаются в раму.

Мы много лет производим оборудование для полупроводниковой промышленности и накопили большой опыт, что позволило нам усовершенствовать наши технологии и инструменты.

Процесс очистки.

Очистка осуществляется за счёт химического воздействия на металлические детали.

Оборудование работает полностью автоматически: после загрузки деталей робот перемещает их в технологическую ванну, где начинается процесс очистки. В ванну подаются различные химические реагенты, удаляющие оксидные отложения с металла.

Затем следует ультразвуковая промывка, гарантирующая полное удаление остатков кислот.

Финальная сушка:

• Предварительная сушка выполняется внутри установки с помощью горячего воздуха от высокопроизводительного вентилятора;
• Окончательная сушка происходит в отдельных печах.

Химический раствор.

Химический раствор хранится в специальных буферных емкостях. Использованный раствор может быть отфильтрован и повторно применён в следующих процессах. Система CDS (Chemical Dosing System) обеспечивает автоматическую подачу химических реагентов.

Комплексные решения для очистки

Мы предлагаем готовые решения "под ключ", включающие:

• Оборудование для очистки;
• CDS (систему дозирования химикатов);
• Сушильные печи;
• Системы сбора и утилизации отработанных химикатов;
• Газоочистные скрубберы;
• Пескоструйные установки (для деталей, которые нельзя очищать химическим способом).

Каждая система проектируется индивидуально в соответствии с требованиями заказчика.

Программное обеспечение.

Все оборудование SPM управляется с помощью ПЛК и сенсорного экрана, что позволяет контролировать всю систему. Программное обеспечение разработано инженерами SPM с использованием современной графики и обладает широким набором функций, таких как:

• Управление рецептами;
• Ведение журнала данных: в реальном времени и за прошлые периоды;
• Прямое управление P&I: непосредственное воздействие на клапаны и насосы для технического обслуживания;
• Интерфейс хоста SECS-GEM (опционально).

Все инструменты соответствуют правилам безопасности CE. При необходимости мы можем изготовить оборудование с сертификатом ATEX.