Оборудование для обработки отдельных пластин

Технические характеристики

Ручные, полуавтоматические и автоматические системы.

SPM производит полностью автоматическое и полуавтоматическое оборудование для обработки пластин по одной, адаптированное под потребности заказчика.

Размер пластин может быть от 3" до 8". Автоматический робот по одной загружает пластины в процессорную камеру, извлекая их из кассеты.

Весь процесс выполняется в одной камере:

• Химическая обработка из нескольких буферных резервуаров;
• Промывка;
• Скрабирование пластин (опционально);
• Мегазвуковая обработка (опционально);
• Обработка пузырьками азота (N₂) (опционально);
• Сушка на высокоскоростной центрифуге.

Резервуары для обработки

Полностью автоматизированное оборудование для подготовки поверхности пластин поштучно. Поддерживает обработку пластин размером от 3 до 6 дюймов. Включает 5 рабочих резервуаров и 5 буферных резервуаров.

Резервуары полностью изготовлены из PTFE (с опциональным проводящим PTFE) и оснащены:

• Вращающийся патрон с бесщеточным сервоприводом (регулируемая скорость до 3000 об/мин) и вакуумным креплением пластины;
• Электрическая ось Up/Down для загрузки/выгрузки пластины из камеры и регулировки расстояния до жидкости;
• Автоматическая крышка с электрическим приводом;
• Смешивание и нагрев химического раствора: подача раствора из буферного резервуара с помощью насоса;
• Азотная атмосфера: подача N₂ во время процесса;
• Локальная вытяжка: автоматический контроль отвода паров;
• Кольцевой перелив с возвратом раствора в буферный резервуар;
• Скрабирование пластины – ось с электроприводом для движения скрабирующей губки с вращающимся двигателем;
• Мегазвуковая обработка – мегазвуковой излучатель на дне резервуара для очистки;
• Подача пузырьков N₂ – впрыск азота в раствор внутри резервуара;
• Контроль концентрации кислорода;
• Мониторинг pH слива;
• Мониторинг редокс-потенциала слива;
• Мониторинг удельного сопротивления слива.

Тип резервуаров варьируется в зависимости от требований процесса. Последняя разработка SPM – запатентованная технология «эффекта плавучести» (Floating Effect).

Буферные резервуары

В систему может быть установлено несколько буферных резервуаров, оснащенных следующим оборудованием:

• Насос на магнитной подвеске для рециркуляции и подачи раствора в процессный резервуар с автоматическим контролем расхода;
• Расходомер;
• Фильтрация;
• Смешивание химических растворов с использованием высокоточных расходомеров или весов;
• Нагреватель/охладитель с датчиком температуры;
• Аналоговый датчик уровня для точного контроля объема раствора.

Материалы буферных резервуаров (выбираются в зависимости от химикатов и температуры):

• PVDF (для растворов до 90 °C);
• Нержавеющая сталь 316L (для органических растворителей);
• PE (полиэтилен) (для растворов комнатной температуры);
• Кварц (для высокотемпературных растворов);
• PTFE (политетрафторэтилен);
• Halar (ECTFE);
• PFA (перфторалкокси-сополимер).

Это позволяет обеспечить совместимость с различными химическими средами и температурными режимами.

Последовательность процессов может быть определена в соответствии с потребностями заказчика. Технологические резервуары могут быть «автономными», то есть все этапы процесса выполняются в одном резервуаре, или разделёнными, то есть в нескольких технологических резервуарах выполняются только отдельные этапы процесса. В этом случае перелив из одного технологического резервуара в другой может осуществляться без контакта с воздухом с помощью специальных «плавающих» жидкостных направляющих.

Оборудование для обработки одной пластины управляется с помощью ПЛК и сенсорного экрана, что позволяет контролировать всю систему. Программное обеспечение разработано инженерами SPM с использованием современной графики и обладает широким набором функций, таких как:

• Управление рецептами;
• Регистрация данных: в реальном времени и за прошлые периоды;
• Прямое управление P&I: непосредственное воздействие на клапаны и насосы для технического обслуживания;
• Интерфейс хоста SECS-GEM (необязательно).

Все инструменты соответствуют требованиям безопасности CE. При необходимости мы можем изготовить оборудование с сертификатом ATEX.