Оборудование для аэрозольной обработки

Технические характеристики

«Ludovica Model» — это революционное и уникальное оборудование, которое придаст престижа любой чистой комнате, будь то исследовательская лаборатория или производственное помещение.

Ludovica Model представляет собой установку для аэрозольной обработки. Благодаря модульной конструкции она может комплектоваться различными версиями резервуаров. Оборудование состоит из камеры из PTFE, способной обрабатывать до двух кассет с пластинами диаметром 8 дюймов.

Вращение внутреннего ротора регулируется серводвигателем, что обеспечивает идеальную равномерность нанесения покрытия на пластины. Вокруг процессной камеры расположены форсунки из PFA, распыляющие химические реагенты на этапе обработки, деионизированную воду (H₂O DI) на этапе очистки и горячий азот (HOT N₂) на этапе сушки.

Эта модель включает различные компоненты для разных методов жидкостной обработки кремниевых пластин или других изделий.

Все процессы выполняются внутри горизонтальной цилиндрической камеры, оснащённой отверстиями для подачи необходимых жидкостей: сначала H₂O DI, затем химического реагента, после чего снова H₂O DI. В конце процесса выполняется сушка горячим N₂ и центрифугирование кассет(ы) со скоростью до 3000 об/мин.

Ключевые особенности «Ludovica Model»

Наиболее инновационные и революционные характеристики:

• Выполнение очистки, травления и других процессов в единой камере, включая финальную сушку;
• Модуль с буферными резервуарами для специализированных растворов (при комнатной, средней или высокой температуре). Тип химикатов может быть расширен по запросу заказчика;
• Автоматическое смешивание растворов с помощью систем дозирования в реальном времени, подключенных к CDS (системе контроля дозирования);
• Процессная камера полностью изготовлена из фрезерованного кованого PTFE в цилиндрическом исполнении. Толщина стенок: 20–40 мм. Внутри камеры расположены 8 коллекторов с отверстиями для равномерного распределения жидкости;
• Процессы могут выполняться в распыляющем, иммерсионном или гибридном режиме (первая фаза – SPRAY, вторая – с переливом и рециркуляцией растворов);
• Возможность использования как свежих (одноразовых) растворов, так и их регенерации (в зависимости от этапов процесса и/или требований заказчика);
• Работа осуществляется в закрытой среде с подключением только к вытяжной системе;
• Каждый процессный цикл может включать до 2 кассет на 8-дюймовые пластины (по 25 пластин в каждой).

Преимущества:

Технология «Ludovica Model» гарантирует выдающиеся результаты благодаря высокой повторяемости каждого этапа процесса. Ни оператор, ни окружающая среда не влияют на итоговый результат, так как все процессы выполняются в одной горизонтальной камере.

Инженерная настройка включает:

• Определение параметров цикла (длительность, расход, давление, химический состав, температура раствора и т. д.);
• Выбор типа процесса (распыление, иммерсия или гибридный режим с возможностью рециркуляции жидкости). Раствор может быть свежим или рециркулируемым.

Дополнительное преимущество:

• Почти полное отсутствие вредных испарений, которые обычно возникают при использовании открытых ванн или локальных вытяжек.

Мы предлагаем индивидуальные решения, тщательно адаптированные под требования каждого клиента. Уже на первой встрече наши специалисты точно определяют ваши потребности, чтобы предложить оптимальную конфигурацию оборудования.

Для работы с растворителями мы используем нержавеющую сталь, соответствующую нормам противопожарной безопасности. При обработке кислотами и щелочами применяем специальные коррозионностойкие пластики (включая материалы с сертификацией FM4882). Во всех случаях используются только высококачественные материалы, исключающие химическое загрязнение, обеспечивающие безопасность и длительный срок службы оборудования.

«Ludovica Model» поддерживает обработку как одной, так и двух кассет с пластинами диаметром от 3 до 8 дюймов. Управление осуществляется через современную систему на базе ПЛК с сенсорным экраном, разработанную инженерами SPM. Программное обеспечение включает расширенные функции: управление рецептами, ведение журналов данных в реальном времени и архивирование, прямой контроль клапанов и насосов для обслуживания, а также опциональный интерфейс SECS-GEM для интеграции с Host-системой.

Все оборудование соответствует стандартам CE, а при необходимости может быть сертифицировано по стандартам ATEX. «Ludovica Model» сочетает в себе передовые технологии, надежность и гибкость конфигурации для решения самых сложных задач в области обработки пластин.