Очистные станции

Технические характеристики

Ручной, полуавтоматический и автоматический режимы SPM производит автоклавы в различных модификациях в соответствии с требованиями заказчика. Мы выпускаем различные типы инструментов: от ручных вытяжных шкафов до полностью автоматических автоклавов с роботом.

Наш многолетний опыт в создании оборудования для полупроводниковой промышленности позволил усовершенствовать технологии и предлагать клиентам оптимальные решения.

Типы систем:

• Руководство пользователя
• Полуавтоматический
• Автоматический

Каждая система, которая разрабатывается, адаптируется под требования заказчика. Мы умеем определять потребности клиента с первой встречи, поэтому можем предложить правильное решение для каждой задачи.

Для работы с растворителями обычно используем материалы из нержавеющей стали в соответствии с правилами пожарной безопасности. Для работы с кислотами и щелочами используется специальные коррозионностойкие пластики (также одобренные FM4910). В обоих случаях используется только высокоэффективные материалы, которые гарантируют отсутствие химического загрязнения или деградации, безопасность и длительный срок службы оборудования.

Резервуары для промывки, обработки и сушки спроектированы и изготовлены компанией SPM с использованием только высококачественных материалов и новейших строительных технологий.

Очистные станции могут быть сконфигурированы для работы с одним или двумя держателями. Размер пластины может составлять от 3 до 8 дюймов или даже больше. Компания SPM также имеет опыт в производстве солнечных батарей и оборудования для очистки специальных деталей.

Резервуары могут быть оснащены различными опциями:

• Ультразвуковая обработка;
• Мегазвуковая обработка;
• Быстрая смывка (Quick dump rinse);
• Круговой перелив (Overflow 360°);
• Перемешивание с регулируемой высотой и частотой (Up/Down Agitation);
• Контроль температуры раствора: нагрев/охлаждение;
• Рециркуляция раствора с различными насосами и регулировкой потока;
• Смешивание и дозирование растворов;
• Система пополнения из CDS или встроенных бутылей/канистр;
• Подача пузырьков N₂;
• Контролируемая атмосфера;
• Конденсация паров;
• Датчик pH;
• Контроль концентрации;
• Датчик Redox (окислительно-восстановительный потенциал);
• Датчик удельного сопротивления (Resistivity meter);
• Автоматическая крышка.

Дополнительные опции для мокрых станций:

• Автоматическое управление вытяжкой;
• Ламинарный поток с HEPA-фильтрами.

Управление и автоматизация.

Все станции SPM управляются ПЛК (программируемым логическим контроллером) и сенсорным экраном для полного контроля системы. Программное обеспечение разрабатывается инженерами SPM с современным интерфейсом и расширенными функциями, такими как:

• Управление рецептами;
• Логирование данных: в реальном времени и архив;
• Прямой контроль P&I: прямое управление клапанами и насосами для обслуживания;
• Интерфейс SECS/GEM для связи с хост-системой (опционально).

Безопасность и сертификация.

Все оборудование производится в соответствии с нормами CE. При необходимости мы можем изготовить установки с сертификацией ATEX (для взрывоопасных сред).