Технические параметры
|
Емкость держателя подложки |
156 мм × 156 мм, 300 пластин |
|
Материал камеры |
Нержавеющая сталь |
|
Мощность источника плазмы |
600 Вт, 13,56 МГц (радиочастотная связь) |
|
Вакуумный насос |
33 м3/ч, масло Fomblin |
|
Технологический газ |
O2, газ CF4 для процесса |
|
Системный контроль |
Автоматическое управление технологическим процессом с помощью ПК |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Кристаллическая солнечная SI батарея SOLISO |
По запросу |
JoomShopping Download & Support